氦质谱检漏仪简介
专门设计的以氦气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪,运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其核心部件质谱室,使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后,不同质荷比的离子在场中彼此分开,而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起,如果在适当位置安置接收所有这些离子,正压氦质谱真空检漏仪公司,就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图,这就是质谱。用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。
正压法氦质谱检漏
采用正压法检漏时,需对被检产品内部密封室充入**一个大气压力的氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中,氦质谱真空检漏仪公司,再采用吸枪的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量,从而实现被检产品泄漏测量。按照收集氦气方式的不同,又可以将正压法分为正压吸枪法和正压累积法。
氦质谱检漏的原理
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,正压氦质谱真空检漏仪公司,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。